全球最大的半導體制造裝置廠商,并擁有液晶面板CVD裝置領域最大份額的美國應用材料(Applied Materials,AMAT),向觸摸面板用制造裝置領域發起了攻勢。該公司�4�15日面向新聞媒體舉行的產品說明會上,介紹了兩款其傾力制造的觸摸面板用成膜裝置等,表現出其對觸摸面板市場增長的期待以及擴大裝置業務的熱情�
該公司顯示器及玻璃產品部門(Display and Glass Products Group)副總裁兼總經理Jim Scholhamer表示,“觸摸面板市場在飛速發展,將成為FPD制造裝置市場增長的關鍵推動力”。該公司迄今為止已供貨了5000萬美元的觸摸面板用成膜裝置,而預�2�3年后市場規模將達到每�2億美元以上�
作為觸摸面板用ITO(Indium Tin Ooxide)成膜裝置,應用材料一直在銷售�1)適用于玻璃底板的縱向在線式濺射裝置“New Aristo”,和(2)支持薄膜底板的卷對卷式濺射裝置“SmartWeb”�
支持玻璃底板的縱向在線式濺射裝置“New Aristo�
支持薄膜底板的卷對卷式濺射裝置“SmartWeb�
�1)的玻璃底板濺射,多被用作了液晶面板部材——彩色濾光片用ITO成膜裝置(參閱本站報道)。該公司AKT顯示器部門(Display Group)的濺射產品(Sputter Products)負責人Uwe Muhlfeld表示:“以彩色濾光片用途為中心,本公司已經向全球提供了162臺裝置,其中的一部分用于觸摸面板”。不僅是ITO膜,觸摸面板需要的SiO2膜和金屬膜也可連續成膜。適用的玻璃底板尺寸,觸摸面板的第四代(底板尺寸�730mm×920mm)是最大的,但瞄準今后不僅是手機,筆記本電腦也將使用觸摸面板這一趨勢,將�2011年中期使其適用于第六代玻璃底板(底板尺寸�1500mm×1850mm)�
�2)的薄膜底板濺射,是預料到觸摸面板底板的薄膜化、觸摸面板的進一步大型化及低成本化而開發的裝置。還可用于制造太陽能電池和采用薄膜底板的可彎曲顯示器。迄今供貨了30臺左右。美國應用材料稱,其在卷對卷技術方面,以食品包裝薄膜的制造為代表,擁有歷�50年積累的悠久歷史。雖然在電子技術領域的成果還不多,但該公司能源及環境解決方案(Energy&Environmental Solutions)部門的Web Coating Products負責人John D. Busch充滿信心地表示:“此后有望實現大幅增長”。此次的濺射裝置,每臺可最多安�12個陰極(Cathode)。薄膜底板的寬度最大可支持1400mm�
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