日本新一代印刷電子技�(shù)研究�(lián)盟(JAPERA)在2014�6月舉行的國際�(xué)�(huì)“SID 2014”上發(fā)表演講,宣布利用已實(shí)�(xiàn)工藝自動(dòng)化的印刷技�(shù)、在A4尺寸樹脂片材上形成了有機(jī)TFT陣列。該技�(shù)可使量產(chǎn)�(shí)的初期成本大幅降低,易于少量多品種生�(chǎn)
JAPERA是由索尼、東芝、松下、NEC、理光、富士膠片、柯尼卡美能�(dá)、凸版印刷及大日本印刷等27家企�(yè)組成的技�(shù)�(lián)盟,�2011�3月成�
這次�(fā)布的TFT陣列�(shè)想用作柔性顯示器或壓力感�(yīng)板等的底板。片材為A4尺寸,TFT的間距為300μm,精�(xì)度為85ppi,有�(jī)TFT的總�(shù)�48萬�(gè)
有機(jī)TFT陣列的柵極、絕緣層、源極、漏極、有�(jī)半導(dǎo)體層、通孔及信�(hào)線等,全部都是利用自�(dòng)化片�(duì)片(S2S)印刷技�(shù)在樹脂片材上形成的。布線是利用由銀納米顆粒�(gòu)成的墨水等形成的。最高工藝溫度為180�
柵極線和信號(hào)線的線寬�20μm。有�(jī)TFT的通道長度�10μm,通道寬度�160μm。有�(jī)TFT的載流子遷移率平均值稍低,�0.1cm2/Vs,但電流�(dǎo)�/截止比高�(dá)106。通態(tài)電流�1μA,偏差在10%以下�
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