新諾科技(中山)有限公司成立�2004年，是一家私營企�(yè)，公司主要是以研�(fā)和生�(chǎn)激光動�(tài)無掩模光刻設(shè)備、激光無掩模像素?zé)徂D(zhuǎn)印設(shè)備、激光無掩模雙面曝光�(shè)備、超大尺寸FPD無掩模曝光設(shè)備及超快皮秒級激光封裝焊接設(shè)備�
新諾公司及其海外�(guān)�(lián)公司Aiscent Technologies （Canada�, Inc.�www.aiscenttech.com) 是由一組長期在北美、日本和中國等地從事激光技�(shù)和應(yīng)用研�(fā)的資深科�(xué)家和擅長高科技企業(yè)管理的團隊來�(jīng)營，公司曾經(jīng)重組了一家美�/日本從事激光直接光刻設(shè)備研�(fā)和生�(chǎn)的在中國的分公司，配合公司已有的大功率藍(lán)紫激光技�(shù)、大功率和皮秒光纖激光器技�(shù)，不斷開拓其激光直寫技�(shù)的應(yīng)用范圍�
新諾科技以LDI激光直接成像技�(shù)和光纖激光技�(shù)，實�(xiàn)了激光無掩膜光刻、熱�(zhuǎn)印及超快激光封裝技�(shù)的在半導(dǎo)體行�(yè)的廣泛應(yīng)用，突破了原有的電子、生物及微精�(xì)加工�(lǐng)域的工程瓶頸。整個光刻系�(tǒng)是由我公司研�(fā)的藍(lán)紫半�(dǎo)體激光器耦合成的大功率光刻激光光源、DMD成像系統(tǒng)、自己研�(fā)生產(chǎn)的微透鏡系統(tǒng)、高速（25Gb/s）的�(shù)�(jù)傳輸硬件系統(tǒng) 、具有數(shù)�(jù)�(zhuǎn)換、變形補償、掃描控制的軟件系統(tǒng)以及高精度的移動平臺組成。其工作原理是：由計算機�(chǎn)生的要光刻的圖形，在DMD芯片上顯示出來，形成了數(shù)字掩膜板圖形，再�(jīng)微透鏡陣列系統(tǒng)壓縮后，�(chǎn)生了小于1um的光斑陣列，該光斑陣列圖形通過光學(xué)系統(tǒng)成像在要光刻的基板上，通過高精度的移動平臺對基板形成掃描曝光。這種無掩模光刻方式節(jié)省了半導(dǎo)體工藝中昂貴的掩模板，提高了新產(chǎn)品的開發(fā)速度，節(jié)約了成本。由于應(yīng)用了掃描技�(shù)，該�(shè)備也可用于器件的批量生產(chǎn)線中。該�(shè)備可廣泛用于LCD、OLED等FPD平板顯示�(lǐng)域、高精度多層PCB板的加工生產(chǎn)，它無需菲林，能自動補償板材變形、高精度對位等。其多光�(xué)引擎頭同時曝光掃描技�(shù)可解�10代線以上的超大屏幕FPD的光刻問題。其雙面曝光技�(shù)集中解決了高精度PCB板生�(chǎn)中的對位、變彀高速等技�(shù)難點，開�(chuàng)了LDI在PCB�(lǐng)域里�(yīng)用的新時代。該光刻技�(shù)也大量用于CTP系統(tǒng)、MEMS及半�(dǎo)體器件的研發(fā)生產(chǎn)中。公司利用自主研�(fā)飽和吸收光纖技�(shù)開發(fā)出了超快皮秒級光纖激光器，該激光器可廣泛用于LCD、OLED等FPD�(lǐng)域的密封焊接封裝中，這種技�(shù)克服了現(xiàn)有激光封裝焊接部分熱影響區(qū)域大、局部應(yīng)力變形大、難以控制及成品率低等缺點。是半導(dǎo)體封裝行�(yè)里的新產(chǎn)品和新技�(shù)。無掩膜光刻�(shè)備和皮秒光纖激光技�(shù)是下一代半�(dǎo)體光刻設(shè)備、封裝設(shè)備的重點�(fā)展方向，該技�(shù)的成功應(yīng)用是國家半導(dǎo)體裝備行�(yè)的重大突破�
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