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　　引言

　　有機電致發光（OEL）器件由于其在平板顯示中的良好應用前景而受到廣泛關注。特別是80年代Tang.C.W報道了兩層的純化小分子薄膜高效率電致發光有機二極管以及1990年Burroughes報道了聚合物電致發光后，有機薄膜電致發光器件的研究迅速發展。但是一般的有機發光材料具有很寬的發光譜帶，譜線的半寬度約100nm，難以獲得高色純度的發光。想要獲得飽和度很高的全色顯示，可以通過濾色鏡，也可以摻雜窄帶發光材料并保證寬帶發光材料輻射的能量有效地傳遞給它，或者采用光學微腔器件，引入光學微腔，可以獲得單色性很好的發光，而且通過合理設計可以控制發射波長。1992年Yokoyama提出了用平面微腔結構來改變有機電致發光薄膜的發光光譜，窄化光譜寬度，自此有了很多微腔有機發光的研究。

　　近年來，微腔有機電致發光二極管被廣泛地用在平板顯示和光互連上，因此，發光波長可調的微腔發光管無疑在這些應用中有誘人的應用前景。諧振波長是由微腔的光學厚度決定的，改變折射率或者腔長，都可以實現發光波長調諧，但是前者的調諧范圍很小。本文提出了一種新的基于MEMS（Micro Electro Mechanical System）空氣腔，通過靜電力改變其腔長，而獲得寬波段連續可調的微腔電致發光二極管，對所設計的結構進行了模擬計算，并作了分析和論證

　　原理

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