�(tái)灣友�(dá)光電(AUOptronicsAUO)用基于透明非晶氧化物半�(dǎo)體(TAOS)的TFT(TAOS-TFT)試制出了全高清�1920×1080像素�37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板�(kāi)�(fā)事例此前最大尺寸止步于20英寸以下,此次一舉實(shí)�(xiàn)了大尺寸化。AUO�(yù)定在2010�5月于美國(guó)舉辦的“SocietyforInformationDisplay2010(SID2010)”上展出試制品�
試制面板使用的TAOS-TFT,是將源電極和漏電極�(shè)在溝道側(cè)面的同一平面(coplanar)型,溝道材料為非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)。AUO在演講中出示的TAOS-TFT試制�(jié)果顯示,以柵極寬度和�(zhǎng)度分別為22μm�5μm的元件,�(shí)�(xiàn)了載流子遷移�10�13cm2/Vs,開(kāi)/�(guān)�108以上的良好特性。即便是�(jīng)常碰到的TAOS-TFT元件特性不�(wěn)定問(wèn)題,也通過(guò)在IGZO成膜后實(shí)施N2O等離子處理以及改善鈍化方法等使其得到了控制�
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