臺灣友達光電(AUO)于美國時間2010�5�28日在顯示器國際會議“SID 2010”上,進行了驅動元件采用氧化物半導體TFT�32英寸液晶面板技術發布,并在開發者見面會(Author Interview)上進行了公開演示。盡管當天是本屆會議的最后一天,但仍有很多技術人員為了一睹達到“電視尺寸”—�32英寸面板的風采而來到會場。前一天索尼現場演示可繞式有機EL時,也吸引了很多技術人員,但友達光電現場演示的火爆場面超過了索尼,可以說是本屆SID上“人氣最高”的展品�
從演示時展示�32英寸面板來看,顯示藍天影像等時可看到若干的斑點(如果是照片就很難看出),但并看不出線缺陷等一眼就可以看到的缺點。在開發者見面會現場,日本某廠商的技術人員表示,“雖說拿出來展示的都是最好的樣品,但能達到這種水平的確非常了不起”�
采用�6代生產線試制
該產品是友達光電在該公司�6代(玻璃底板尺寸�1850mm×1500mm)液晶面板生產線上試制的。利用的氧化物半導體TFT與索尼當天發布的11.7英寸有機EL面板相同,溝道材料均采用非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)。TFT構造系源電極和漏電極設在溝道側面的同一平面(Coplanar)型。TFT陣列形成后,通過�250℃下進行1小時的熱處理,提高了工藝的再現性�
非晶IGZO TFT的特性方面,47.4μm�5.5μm元件的載流子遷移率為5.16cm2/Vs,閾值電壓為0.5V。亞閾值擺幅(S值)�0.38V/decade,導通截止比�108�
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