�2010�5�23�28日于美國西雅圖舉行的全球最大顯示器國際學會“SID 2010”的研討會上,備受關注的一大動向是采用非結晶氧化物半導體IGZO(In-Ga-Zn-O)的TFT底板技術。在液晶面板方面,臺灣友達光電(AUO)發布的32英寸產品 在SID上引起轟動。而在有機EL面板方面,除了索尼的11.7英寸產品以外,韓國三星移動顯示器(Samsung Mobile Display,SMD)、韓國LG顯示器(LG Display ,LGD)和友達光電三家大型面板廠商進行了技術發布�
三星移動顯示器開發出采用蝕刻阻擋型TFT構造的19英寸產品
�1:三星移動顯示器�19英寸產品�
三星移動顯示器發布了曾經�2009�10月于太平洋橫濱會展中心舉行的“FPD International 2009”上展出過的19英寸有機EL面板。IGZO TFT采用七張掩模形成,因此IGZO層采用DC濺射法在室溫下成膜。TFT構造采用蝕刻阻擋(Etch Stopper)構造,除了由于源極和漏極的蝕刻處理等而產生的特性劣化外,還在TFT陣列形成后,�250℃下進行了一個小時的熱處理,從而提高了工藝的再現性。載流子遷移率為21cm2/Vs,亞閾值擺幅(Subthreshold Swing,S值)�0.29V/decade,導通截止比超過108�
19英寸產品的像素數�960×540,精細度�58.4ppi。每個TFT像素配備了五個晶體管和兩個電容器�5T2C)。有機EL元件的元件構造為從TFT底板中提取光的底部發光(Bottom Emission)型。紅色采用了磷光材料,綠色和藍色采用了熒光材料�
LG顯示器通過源極和漏極來保護IGZO
�2:LG顯示器的2.8英寸產品�
LG顯示器開發出了采用IGZO TFT�2.8英寸產品。此次開發的IGZO TFT改良了逆交錯型構造,采用了使用源極和漏極來保護IGZO層的構造。該公司在源極和漏極中采用了Mo/Ti。下側的Ti電極采用了可以覆蓋整個IGZO層的構造。將該Ti電極用作蝕刻上側Mo電極時的保護層,從而抑制了特性老化。然后,位于通道上部的Ti電極通過氧等離子體處理,成為了具有絕緣性的TiOx�
制作的IGZO TFT的載流子遷移率為9cm2/Vs,亞閾值擺幅(S值)�0.78V/decade,導通截止比超過108�
友達光電采用同一平面型TFT構�
�3:友達光電的2.4英寸試制品�
友達光電發布�2.4英寸有機EL面板,與該公司的32英寸液晶面板一樣采用了同一平面(Coplanar)型TFT構造。載流子遷移率為6.2cm2/Vs,亞閾值擺幅(S值)�0.19V/decade,導通截止比超過107�
2.4英寸開發產品的像素數�240×320。每個TFT像素配備了兩個晶體管和一個電容器�2T1C)。有機EL元件的元件構造為底部發光型。該產品曾經在FPD International 2009展出過�
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