� �/河北冀雅電子有限公� 王寧 羅艷� 孫力�
一、引言
在LCD制造過程中，光刻是重要的一道工序，其目的是利用化學(xué)的和物理的方法在ITO玻璃上涂覆一層致密的光刻膠膜，然后覆蓋掩膜版用紫外線進行選擇性照射，然后�(jīng)過顯影露出不需要的ITO部分，用強酸腐蝕掉，需要保留的ITO部分由于光刻膠的保護而保留下來，最后洗掉光刻膠，就在ITO玻璃上形成了我們需要的圖形。而在這道工序的過程中，光刻針孔是很常見的一種過程缺陷，光刻針孔其實是在光刻過程中形成的表面光刻膠膜的微小缺失，一般尺寸很小，目視很難�(fā)�(xiàn)，在顯微鏡下觀看如�1�
如圖1所示，本應(yīng)覆蓋著ITO玻璃表面的光刻膠膜上出現(xiàn)了缺失，在刻蝕時針孔�(nèi)的ITO得不到光刻膠的保護會被腐蝕掉，這樣在本該得到保留的ITO圖形中就出現(xiàn)了和針孔形狀相同的缺失，在加電顯示時就會造成顯示針孔甚至斷路的缺陷，如圖2所示。在過程檢驗中，想要�(fā)�(xiàn)光刻的針孔是比較困難的，因為較小的尺寸使得用肉眼很難�(fā)�(xiàn)，用顯微鏡又很難做到整片玻璃的全面檢查，因此往往在最后的通電測試中才能發(fā)�(xiàn)，造成無法挽回的損失�
二、原因分�
根據(jù)在實際生�(chǎn)過程中遇到的問題，需要對原材料、設(shè)備、工藝等各方面進行了綜合分析，總結(jié)出光刻針孔產(chǎn)生的原因有以下幾種：
光刻膠中存在小氣泡，在涂覆過程中受涂膠輥擠壓氣泡破裂，在玻璃的相�(yīng)部位就會�(chǎn)生針孔，形狀為圓形或近似圓形，如�3所示�
涂膠輥與光刻膠的�(jié)合性弱造成涂膠輥溝槽內(nèi)不沾膠，涂覆后就會形成針孔，形狀一般為和溝槽形狀相似的長條形�
ITO玻璃清洗不凈，玻璃有油污或顆粒造成表面不粘膠�
顯影�(shè)備不合適會形成針孔，正常情況下，顯影槽連接著排�(fēng)裝置，由于顯影槽的頂蓋密封性很好，因此�(chǎn)生負壓，空氣從顯影槽入口進入，形成吹向顯影槽�(nèi)的氣流，該氣流可以起到阻止噴射顯影液�(chǎn)生的濺射液滴落在玻璃上的作用。但如果顯影槽變形或破損，破壞了氣密性，外部空氣從頂蓋處流向了槽�(nèi)，使得濺射液滴會落在玻璃上，在外部空氣的流動作用下加速了顯影液的蒸發(fā)，使得堿濃度迅速上升，達到一定濃度后就會腐蝕掉光刻膠，形成針孔，尤其是當(dāng)流水線由于異常而報警停線時，此�(xiàn)象尤為嚴重。針孔如�4所示�
三、分析與解決
根據(jù)針孔形成的各種原因，需要根�(jù)實驗確定不同的解決措�:
對于第一種原因，光刻膠中存在的氣泡是在運輸和搬運過程中的由于晃動造成的，在涂膠時觀察涂膠輥兩側(cè)可見明顯的氣泡，這是由于光刻膠受到輥子擠壓而流向涂膠輥兩端，因此有部分氣泡隨光刻膠流到了兩端，在生�(chǎn)過程中的解決辦法也比較簡單，那就是靜�12小時后再使用，效果比較明顯，觀察涂膠輥兩端幾乎看不到氣泡，涂膠后檢查也幾乎看不到氣泡�
... ...
更多詳細�(nèi)容請參考《國際光電與顯示�6月刊，歡迎訂閱！
訂閱咨詢�0755-86149014
�(guān)注我�
公眾號：china_tp
微信名稱：亞威資�
顯示行業(yè)頂級新媒�
掃一掃即可關(guān)注我�
�(chǎn)品供�| 雜志期刊| �(xié)會服�(wù)| 專題�| �(guān)于我�|�(wǎng)站地�|版權(quán)聲明| 廣告服務(wù)
Copyright © 2018 深圳市美嘉投資有限公�. All Rights Reserved 版權(quán)所� 粵ICP�12048185�-1
中華顯示�(wǎng)所載文章、數(shù)�(jù)僅供參考，使用前務(wù)請仔細閱讀法律聲明，風(fēng)險自負�
媒體合作:0755-86149081 廣告咨詢:0755-86149131 Email:[email protected]
