10�16日，山東有研艾斯12英寸集成電路用大硅片�(chǎn)�(yè)化項(xiàng)目通線儀式在德州天衢新區(qū)舉行，該�(xiàng)目一期投�25億元，達(dá)�(chǎn)后可�(shí)�(xiàn)12英寸拋光片月�(chǎn)10萬片，是中國有研布局的重�(diǎn)�(xiàng)目，也是山東省內(nèi)第一�12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線�
12英寸硅片的面積是8英寸�2.25倍，可使用率�8英寸�2.5倍左右，單片可產(chǎn)出的芯片�(shù)量增加，�(jīng)�(jì)效益明顯，隨著集成電路制程和工藝的發(fā)展，硅片趨向大尺寸化和制程精�(xì)化，12英寸硅片為當(dāng)前及未來較長�(shí)間內(nèi)的主流產(chǎn)品�
通線儀式前一日，記者走�(jìn)山東有研艾斯生產(chǎn)車間，整�(gè)操作車間一塵不染，生產(chǎn)硅片對潔凈環(huán)境要求非常高，在每�(gè)車間，工人們都穿著潔凈服�(jìn)行操作，在線切割車間，單晶硅�(jīng)過切割機(jī)操作被切割成厚度僅一毫米的硅片，而這僅僅是硅片切割的首�(gè)�(huán)節(jié)�
“硅片制作程序非常�(fù)雜，有線切割、倒角、研磨等40-50道工序，對平整度要求極高，硅片直�300毫米，而頭�(fā)直徑只有100微米，但最終硅片出廠時(shí)最高與最低的平整度誤差不能超�0.1微米�”山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞舉例介紹道�
清洗檢測是硅片出廠前的最后一道程序，透過操作車間玻璃可以看到，工作人員正操作專用儀器查看硅片表面顆粒數(shù)量及尺寸�“我們是山東唯一一家生�(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè)，硅片直徑越大，對材料和技�(shù)的要求就越高，制造難度也越大，生�(chǎn)過程涉及亞微米甚至納米級別的�(jié)�(gòu)，工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品質(zhì)量參�(shù)一致性、單臺設(shè)備產(chǎn)能和�(chǎn)品單位成本持�(xù)降低控制等都是我們需要考慮的因素�”閆志瑞告訴記者�
�(jù)悉，12英寸硅片技�(shù)參數(shù)要求�8英寸更高，各工藝�(huán)節(jié)需要長期積累，其中單晶工藝是最為核心的技�(shù)，其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位�(cuò)、晶體缺陷，山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等�(guān)鍵技�(shù)指標(biāo)，已在多家國�(nèi)外知名集成電路制造企�(yè)開展�(chǎn)品驗(yàn)證�
硅片是集成電路的基石，有研先后在德州投資�100億元在德州建�(shè)�7�(gè)�(xiàng)目，8英寸硅片、高�?yōu)R射靶材等4�(gè)�(xiàng)目已建成投產(chǎn)�8�18日，刻蝕�(shè)備用硅材料及硅片�(kuò)�(chǎn)�(xiàng)目開工建�(shè)。總投資62億元�12英寸大硅片項(xiàng)目，于去�4月開工建�(shè)�
“�8英寸�12英寸不僅僅是尺寸的變大�”閆志瑞坦言，目�12英寸是全世界直徑最大的主流�(chǎn)品，硅片的直徑越大，可利用的面積比例越高，每一�(gè)集成塊的成本就越低，追根到底是一�(gè)成本的降低，該項(xiàng)目同樣也是山東省唯一一家制�12英寸硅片的廠家，全部�(dá)�(chǎn)后將形成360萬片/年大硅片的生�(chǎn)�(guī)模，徹底改變我國依賴�(jìn)口的局靀�
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