被視為次世代顯示科技的OLED顯示技術(shù),目前在生產(chǎn)成本與分辨率方面,仍無法與液晶顯示技術(shù)抗衡,原因之一在生產(chǎn)過程的金屬遮罩,很難兼顧大面積、低重量、低熱膨脹需求,因此現(xiàn)在日廠除繼續(xù)精進(jìn)蝕刻遮罩技術(shù)外,同時發(fā)展電鑄與多材料遮罩技術(shù),期待有所突破。
日本電子零組件產(chǎn)業(yè)新聞報導(dǎo),目前OLED面板的生產(chǎn)技術(shù),幾乎都是蒸著式,將OLED材料加溫蒸發(fā)后,沉積于基板上,在材料沉積前先在基板上放置金屬遮罩,則OLED材料就只會沉積在沒有被遮罩蓋住的部位,形成必要的回路。
而要提高OLED顯示面板的每英吋畫素值,就必須要有精密的金屬遮罩,但是高精密度金屬遮罩,在使用時會碰到二個問題:一,金屬材質(zhì)熱膨脹不可太明顯,否則蒸發(fā)材料冷卻時,遮罩變形,線路便難以精確;二,遮罩不可太重,否則安置時容易歪曲變形。
目前OLED面板用金屬遮罩制造技術(shù),大致有三種:一,蝕刻;二,電鑄;三,多重材料復(fù)合產(chǎn)品。而主要的OLED面板用金屬遮罩制造廠:大日本印刷(DNP)、凸版印刷(Toppan)、達(dá)運,采用的都是蝕刻技術(shù)。
鑒于蘋果(Apple)帶來的手機(jī)OLED面板潮,市場需求大增,相關(guān)的金屬遮罩全球市場規(guī)模,可從2016年的2.05億美元,在2019年增為8.02億美元,幾乎達(dá)4倍,因此大日本印刷計劃在2020以前投資60億日圓(約5,430萬美元),讓該廠OLED用金屬遮罩產(chǎn)能,增為3倍。
在蝕刻金屬遮罩領(lǐng)域技術(shù)落后者也另辟蹊徑,如日本模具大廠Athene與Hitachi Maxell,就走向擅長的電鑄技術(shù)領(lǐng)域,開發(fā)板厚僅5微米(μm)的鐵鎳合金遮罩,熱膨脹率僅常用鎳鈷合金遮罩的一半,有助于大基板生產(chǎn)高分辨率OLED面板應(yīng)用。
另一種應(yīng)付熱膨脹的方法,則是樹脂與金屬混合材料遮罩,半導(dǎo)體設(shè)備廠V-Technology目前已做到厚度5微米,且成膜位置精度從過去的3微米,精進(jìn)到2微米,目前正朝1微米以下的范圍發(fā)展。
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