你知道OLED成膜現場長什么嗎?
不知道?
那好,接著看就知道了
知道?
來來,看看這個跟你見的一樣嗎?
OLED成膜工藝現場原來長這樣...
小分子材料量產系統
上圖是小分子材料EL器件生產體系的一個實際示意圖,這個體系幾乎全部是自動操作,不接觸大氣,一直到最終產品為止的成品都是在這里面實現的...
具體流程如下
1、搬運的機械臂將玻璃基板從置樣室中取出
2、玻璃基板的預處理,等離子清洗等
3、清洗結束后的玻璃基板在真空式沉積注入層、傳輸層和發光層
4、最后蒸鍍金屬電極
使用這樣的工藝以后,再將有機EL器件的基板通過送樣室傳到下面的工藝,也就是“封裝工藝,然后整個制造過程完成。
需要注意的是,這個例子是小量生產線的情況,若是企業量產線,圖中的蒸鍍室會有7到8個,而且還有預備室。
小分子EL器件采取的是多層結構,所以可將多臺真空蒸鍍機并置在一個蒸鍍機中,連續不斷的蒸鍍同一種材料。
ITO基板在這些蒸鍍機中一個接一個的傳送,將有機材料一層接一層的蒸鍍上去。
高分子材料量產系統
上圖是高恩自EL的生產體系,首先,涂上一層空穴注入層,然后再連續刷上發光層染料,所有層的沉積都采用噴墨打印的工藝。
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