（1）吸收法。吸收法是以液體為吸收劑，通過洗滌吸收裝置使廢氣中的有害成分被液體吸收，從而達到凈化廢氣的目的。該處理方法投資費用較少，運行成本也較低，因而在一些中小型企業中的應用比較廣泛。利用揮發性有機化合物（VOCs）能與大部分油類物質互溶的特點，用高沸點、低蒸汽壓的油類作為吸收劑來吸收VOCs，常見的吸收器是填料洗滌吸收塔，用液體石油類物質回收苯乙烯便是一例，因苯乙烯極性弱，能與液體石油類物質很好地互溶。為強化吸收效果，可用液體石油類物質、表面活性劑和水組成乳液作為吸收液。
（2）吸附法。在處理有機廢氣的方法中，吸附法應用極為廣泛。與其他方法相比，去除效率高，凈化徹底，能耗低，工藝成熟，易于推廣，具有較好的環境和經濟效益。該法處理有機廢氣效率的關鍵取決于吸附劑，其中已經廣泛商業化的吸附劑主要有粒狀活性炭和 活性炭纖維2種，其他的吸附劑如沸石、分子篩等也有工業應用，但因費用較高限制了它們的實際推廣。河北中環環保設備有限公司開發成功一種有機廢氣回收裝置-活性炭纖維有機廢氣吸附回收裝置。該工藝所采用的處理裝置是以2-3個組合型BTP環式吸附器為主體設計而成的吸附回收系統。吸附箱是整個裝置的核心，所有吸附-脫附-再生工序均在吸附箱內完成。其他系統包括廢氣系統、蒸汽脫附系統、冷凝回收系統、干燥系統和自動控制系統。此外，近幾年，由于環保要求的更加嚴格，吸附技術也得到了迅速的發展，出現了一些新的吸附工藝和設備，如吸附-熱再生-催化燃燒凈化工藝、吸附-水蒸氣再生-溶劑回收凈化工藝等。
（3）生物法。有機廢氣的生物處理法即利用微生物的新陳代謝過程對多種有機物和某些無機物進行生物降解，可以有效去除工業廢氣中的污染物質。生物法的核心是生物反應器。處理過程一般可分為以下3步： (a)污染物由氣相到液相的傳質過程；（b）通過擴散和對流，污染物從液膜表面擴散到生物膜中；（c）微生物將污染物轉化為生物量、新陳代謝副產物或二氧化碳和水。目前，有機廢氣的生物處理技術主要有生物濾池、生物滴濾池和生物洗滌器， 3種生物反應器各有其優缺點。在眾多VOCs的凈化方法中，生物法具有良好的凈化效果，優越的經濟性，可靠的安全性，近年來在凈化揮發性有機廢氣污染方面的研究和應用日趨活躍，也已成為工業廢氣凈化研究的前沿熱點課題之一。然而，生物反應器涉及氣、液、固三相傳質及生化降解過程，影響因素多而復雜，有關的理論研究及實際應用還不夠深入，需要進一步探討和研究。
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